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案例編號 PL-11
[02]廠房製程
半導體廠 化學排氣系統調整
- 年度
- 2023
- 地點
- 新竹縣
- 規模
- 化學站 18 座 · 排氣量 900 CMH
- 類型
- 廠房製程
Products
箱型風機BDH · BDH-1000
化學排氣
| 型號 | BDH-1000 |
|---|---|
| 馬力 HP | 40 |
| 轉速 RPM | 905 |
| 最大風量 m³/min | 1,826.4 |
| 最大靜壓 mmAq | 146.7 |
數據為 60Hz、4 極、220/380V 三相。
新增製程機台後排氣壓力不穩。重新平衡支管風量並提升主機靜壓，讓每座機台都達標。
01
現場問題
- 新增機台併入既有排氣系統，末端支管風量不足，機台頻繁發出警報。
- 主機靜壓餘裕不足，部分支管風速低於製程規範。
- 廠務要求在不停止生產的前提下完成平衡調整。
02
設計方案
- 以實測風量建立系統阻抗模型，重新分配各支管風量與風閥開度。
- 主機升級為高靜壓機型並採雙機並聯，保留運轉備援。
- 加設風速感測與壓差監測，異常時即時告警。
03
施工重點
- 更換箱型排風機 BDH-1000 共 3 台，採兩用一備配置。
- 逐支管調整風閥並加設風速感測器 18 點。
- 分站切換施工，每站作業控制在四小時內。
Results
- ±5% 內
- 支管風量誤差
- 下降 90%
- 機台警報
- 0 小時
- 生產影響
Equipment
- 箱型風機 BDH-1000 × 3
- 風速感測器 × 18
- 自動風閥 × 18
- 壓差監測盤
Next Step
你的空間，現在的空氣如何？
先用一則訊息描述空間用途、坪數與目前最困擾的問題。 我們會回覆初步方向，並說明是否需要安排現場勘查。